产品摘要

该设备可蒸发镀金、银、钛、铬、钼、S1O2/ITO/AZO/氧化镍等材料。兼容电子束后可蒸发高熔点材料如氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化铪等。系统可集成电阻电子束、电阻蒸发、有机蒸发对接手套箱系统实现旋涂、镀膜、测试等工艺流程在无水无氧手套箱环境下进行。

产品介绍

设备特点：

★机械泵前加装过滤网，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘

★西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警

★自动控制蒸发源输出，可选配共蒸发制备工艺

设备参数：

★腔体尺寸（L×W×Hmm)：500×500×600/800×700×700

设备尺寸（L×W×Hmm)：1200×950×2000/1850×870×2100

★真空极限：优于（3E﹣05）Pa

抽速保压：（8E﹣04）≤20min保压12小时≤5pa

★膜厚均匀性优异（±3％~±5%），重复性优异（±3％~±5%）

★基片台：210mm×210mm/350mm×350mm

★蒸发源：可搭配4～8组蒸发源（兼容金属与有机），可共蒸或切换蒸发，可与电子束进行对接