产品介绍：

放置 SiC 衬底，用于生长 SiC 外延片

适用机型：
SiC 外延水平6吋&8时机台

产品参数：

基材：等静压石墨（纯度 >6N）

特点：纯度高，热均匀性好

使用寿命：>1500um