石墨

• 长晶坩埚
• TaC 圆环
• UV-LED 石墨盘
• K465i石墨盘
• A8石墨盘
• A7石墨盘
• 刻蚀环
• 预热环
• 载盘
• 石墨基座
• 6&8 时过渡件
• 8 吋载盘
• 8 时环

粉体焙烧炉

• 化学气相沉积炉
• 石墨高温纯化炉

其他

• 蔡司三坐标
• 五轴数控机床