产品介绍：

放置2时蓝宝石衬底，用于生长深紫外 LED的外延片

适用机型：

AIX CCS

产品参数：

基材：等静压石墨(纯度 >6N)

涂层：B-SiC(厚度=110±10 um)

特点：致密度高，耐高温耐腐蚀，涂层结合力强

使用寿命：>50Run