P21R 系列(质量流量控制器/质量流量计)是高精度控制和测量气体质量流量的产品，

采用层流压差式技术原理，实现多气体、多量程、高精度、快速响应的流量控制。

高精度±1%S.P./±0.2%F.S.

多量程，适用范围 1sccm~200 SLM

多气体，可支持 400 多种气体

可定制通讯模式、屏幕显示、机械接口

适用于各类高端工艺制程