辽宁冠华半导体有限公司(简称:冠华半导体)成立于 2022年，总部位于辽宁省沈阳市，是一家专注于工业测控领域及高端流量计核心技术研发与产业化应用。公司立足半导体制造领域，通过自主研发的压力式流量传感技术突破传统流量计在精度、响应速度及稳定性方面的技术瓶颈，产品覆盖气体/液体流量监测(1SCCM~200 SLM，可定制扩展)、微流量控制等场景，测量精度达+0.05%FS，采用 316L流道或定制高镍合金提升耐腐蚀性。其解决方案广泛应用于工业、泛半导体(光伏、燃料电池、分析仪器等)领域.目前主攻半导体产业链为刻蚀、沉积、PVD、离子注入等关键工艺及 12英寸晶圆产线提供高可靠智能流量控制，助力客户