设备特点

采用两个主轴，三个工作台的全自动研磨机，4/5/6/8吋晶圆加工可兼容

Si、SiC等研磨材料均能满足

为实现高品质研磨加工，主机搭载高功率输出、高刚性、低振动空气电主轴；工作台主轴亦搭载高刚性、低振动、低热膨胀、回转精度高的的空气轴承

配置接触式测厚模块，实现闭环系统控制

搭配自主研制的250mm磨轮，有效去除晶圆磨削应力，减少表面损伤，保证芯片强度