设备特点

晶圆尺寸:  兼容8寸、12寸frame晶圆

双loadport上料,双臂带翻转robot取料

双全自动取环工位

高效精确解UV光源

环切精度<0.15mm

设备尺寸：2060mm*2050mm*2300mm（不含三色灯）