技术优势

分体式将电源与尾气模块、PM/TM/EFEM模块做了分体式设计，方便用户将电源与尾气模块单独放入灰区或夹层区域。并可配合SMIF模块和天车联动，实现全自动功能。

设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。

工艺性能

设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。