一体式垂直气流碳化硅外延设备
报价:面议
品牌: 芯三代
产地: 江苏
关注度: 253
型号: 一体式垂直气流碳化硅外延设备
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产品介绍

技术优势

设备拥有完全独立的自主知识产权,具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术,辅以全自动上下料(EFEM)系统和高温传盘等手段,实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能,在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。

工艺性能

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芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司为您提供芯三代一体式垂直气流碳化硅外延设备,一体式垂直气流碳化硅外延设备产地为江苏,属于半导体行业专用仪器,除了一体式垂直气流碳化硅外延设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供氮化镓外延设备、分体式垂直气流碳化硅外延设备。
工商信息
企业名称

芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司

企业类型

信用代码

91320594MA22HQWA11

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