型号： 碳膜去除设备 NE-550EX

型号： 激活退火设备 Ailesic-2000

型号： 光阻去除设备 NA-8000

型号： 溅射设备 SME-200J

型号： 溅射设备 SRH-420

型号： 蒸发设备 Ei-5

型号： 高温退火炉 PFS-4000

型号： 高温氧化炉 HT-RTP-4000

型号： 多功能扫描X射线光电子能谱仪 XPS

型号： 飞行时间二次离子质谱仪 TOF-SIMS