型号： 电子束曝光系统——Pharos 310

型号： 图形发生器——Pharos Ex

型号： 扫描电镜超低温冷台 ——GSC MK系列

型号： 阴极荧光成像与光谱探测系统——Rainbow

型号： 阴极荧光成像系统——Sunny