半导体行业专用仪器_鹏城微纳技术（沈阳）有限公司

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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

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型号：团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

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MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

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型号：MOCVD 金属有机化学气相沉积设备

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PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备

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型号：PECVD 等离子体增强化学气相沉积设备

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LPCVD 低压化学气相沉积设备

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型号：LPCVD 低压化学气相沉积设备

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HFCVD 热丝化学气相沉积设备

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型号：HFCVD 热丝化学气相沉积设备

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化合物半导体

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型号：化合物半导体

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