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卧式炉
报价:面议
品牌: 山东力冠
产地: 山东
关注度: 25
型号: 卧式炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

该设备是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、 分立器件、电力电子、光电器件等行业的氧化、扩散、退火、合金等工艺。

image.png

晶片尺寸:6/8英寸

Wafer size: 6/8 inches 

ウェハーサイズ:6/8インチ

制程温度范围:300°C-1250°C

Process temperature range: 300°C-1250°C

プロセス温度範囲:300℃-1250℃

批次片数: 100-150片

Batch capacity: 100-150 pcs

バッチ数:100-150枚


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工商信息
企业名称

山东力冠微电子装备有限公司

企业类型

信用代码

91370105597048698M

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