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SiC高温氧化设备
报价:面议
品牌: 山东力冠
产地: 山东
关注度: 300
型号: SiC高温氧化设备
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产品介绍

概要:

♦ 专门用于硅碳化合物(SiC) 的氧化处理,可实现SiC片在高温真空环境下完成高温氧化工艺。氧化工艺使用湿法氧化气体或N2O、NO、NO2,是*安全的毒性气体氧化炉 ♦ 设备适用于SiC基功率器件制造中的高温氧化工艺环节 ♦ 加热腔与工艺腔独立密闭设计,提供工艺腔的洁净度


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山东力冠微电子装备有限公司为您提供山东力冠SiC高温氧化设备,SiC高温氧化设备产地为山东,属于半导体行业专用仪器,除了SiC高温氧化设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 卧式、PECVD 设备 卧式、坩埚下降设备。
工商信息
企业名称

山东力冠微电子装备有限公司

企业类型

信用代码

91370105597048698M

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