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SiC籽晶粘接设备
报价:面议
品牌: 山东力冠
产地: 山东
关注度: 287
型号: SiC籽晶粘接设备
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产品介绍

产品概述/Product Introduction:

♦ 籽晶的粘接工艺技术是将SiC籽晶通过有机胶粘接在石墨纸上。提高籽晶粘接质量是保证高品质SiC晶体生长的首要前提。

The bonding technology of seed crystal is to bond SiC seed crystal to graphite paper through organic adhesive. Improving the bonding quality of seed crystal is the first prerequisite to ensure the growth of high-quality SiC crystal. .

 

技术指标/Technical Indicators:

晶圆尺寸: 6-8英寸

Wafer size: 6-8 inches

温度350-1000°C,温度均匀性土3°C

Temperature 350 1000°C, temperature uniformity 3°C

压力:**1-2万KN,力均匀性<士1%

Pressure: Maximum 1-20,000 KN, Force Uniformity<土1%

真空度:≤10Pa

Vacuum degree:≤10Pa

压头:柔性压头/硬性压头

Indenter: Flexible indenter/rigid indenter



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山东力冠微电子装备有限公司为您提供山东力冠SiC籽晶粘接设备,SiC籽晶粘接设备产地为山东,属于半导体行业专用仪器,除了SiC籽晶粘接设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 卧式、PECVD 设备 卧式、坩埚下降设备。
工商信息
企业名称

山东力冠微电子装备有限公司

企业类型

信用代码

91370105597048698M

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