其它无机材料

• 三氯化硼（BCl3）
• 三氟化硼（BF3）
• 乙硼烷（B2H6）
• 溴化氢（HBr）
• 无水氟化氢（HF）
• 二氯二氢硅（SiH2Cl2）
• 三氟甲烷（CHF3）
• 八氟环丁烷（C4F8）
• 氖气（Ne）
• 氪气（Kr）
• 氙气（Xe）
• 四氟化碳（CF4）
• 六氟化硫（SF6）
• 六氟乙烷（C2F6）
• 八氟丙烷（C3F8）

氧化铝粉

• 锗烷（GeH4）