艾佩科(上海)气体有限公司
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    参考报价:电议
    型号:六氟乙烷(C2F6)
    产地:上海
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  • 详细介绍:


    六氟乙烷(C2F6)


    化学式C2F6
    中文名称六氟乙烷
    英文名称Hexafluoroethane
    CAS No.76-16-4
    分子量138
    充装系数1.06kg/L  (气瓶公称工作压力12.5MPa) 
    应用在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。亦可用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂。


    六氟乙烷(hexafluoroethane),又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃,亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。