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六氟乙烷(C2F6)
报价:面议
品牌: 艾佩科
产地: 上海
关注度: 499
型号: 六氟乙烷(C2F6)
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产品介绍
六氟乙烷(C2F6)


化学式C2F6
中文名称六氟乙烷
英文名称Hexafluoroethane
CAS No.76-16-4
分子量138
充装系数1.06kg/L  (气瓶公称工作压力12.5MPa) 
应用在等离子工艺中作为二氧化硅和磷硅玻璃的干蚀气体。可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。亦可用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂。


六氟乙烷(hexafluoroethane),又称全氟乙烷,是乙烷中六个氢原子全部被氟原子取代后的产物,是卤代烃,亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一种不易燃的气体,难溶于水,微溶于醇。

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艾佩科(上海)气体有限公司为您提供艾佩科六氟乙烷(C2F6),六氟乙烷(C2F6)产地为上海,属于其它无机材料,除了六氟乙烷(C2F6)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供二氯二氢硅(SiH2Cl2)、锗烷(GeH4)、三氟化硼(BF3)。
工商信息
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艾佩科(上海)气体有限公司

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91310112579125258U

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