产品类别：晶圆退火

产品简介：卧式晶圆退火炉 

极限温度：1100℃ 

加热尺寸（有效空间）：Φ300 长1000mm 

加热元件：电阻丝、灯管加热 

适用于：4-8英寸晶圆硅片退火、氧化等热处理

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