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上海载德半导体技术有限公司

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共晶炉，真空烧结炉

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匀胶机，旋涂仪

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等离子去胶机

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产地：韩国
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光刻机

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产地：韩国
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光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner)

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离子束刻蚀系统IBE

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Harrick Plasma等离子清洗机

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反应离子刻蚀机RIE

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热丝化学气相沉积系统(HWCVD)

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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)

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