技术规格：

- 单腔体或者多腔体(Cluster);

- 衬底尺寸：10cm x 10cm ~ 30cm x 30cm;

- 衬底类型：刚性(沉积时振荡)，柔性(Reel - Reel);

- 灯丝类型：石墨(美国**#6214706， #6427622)，传统灯丝;