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美国OAI光刻机5000E

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美国OAI全自动上侧或后侧光刻机6000 FSA

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美国OAI晶元绑定机晶圆接合器AML

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Sentech集成等离子刻蚀和沉积的多腔系统

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德国Sentech离子刻蚀与沉积机200 RIE

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德Sentech经济型反应离子刻蚀机Etchlab200

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德国Sentech等离子刻蚀机ICP-RIE SI 500

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德Sentec电感耦合等离子体ICP干法刻机SI 500

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德国Sentech等离子沉积机SI 500 PPD

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德国Sentech等离子沉积机SI 500 D

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