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德国Sentech等离子体沉积机PECVD Depolab 200

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德国SENTECH等离子刻蚀机SI 591

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德国Sentech ALD实时监测仪RTM

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Oxford等离子去胶机(灰化)Plasma Stripper (Asher)

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英国Oxford等离子沉积机PlasmaPro 80 ICPCVD

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牛津Oxford等离子刻蚀沉积机System 100

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牛津Oxford等离子体刻蚀机PlasmaPro 80 ICP

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牛津Oxford等离子沉积机PlasmaPro 80 PECVD

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牛津Oxford离子束刻蚀机Ionfab 300 IBE

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牛津Oxford原子层刻蚀机PlasmaPro 100 ALE

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