静电卡盘又称静电吸盘（ESC），是半导体设备中价值比较高的部件之一；用于半导体工艺中的硅片夹持，利用静电吸附原理来固定硅片。近年来，随着国家加大半导体领域的投入，我国半导体设备采购额逐年增加，推动了包括静电吸盘（ESC）在内的核心部件的采购量增长。此外，随着中国大陆晶圆产能的建设和扩产，中国成为全球晶圆产能增长的重心，带动国产半导体设备的需求增长，为国产静电吸盘（ESC）的发展提供了良好的机遇。

陶瓷静电卡盘由含有置入其内的至少一个电极层的陶瓷圆盘构成，通常使用多层陶瓷共烧工艺进行制备，采用丝网印刷导电浆料（钨、钼）在一个或多个陶瓷生坯片（氧化铝或氮化铝材质）上形成电极。将印刷好的生坯片按照要求进行叠层共烧后，经过精加工得到陶瓷圆盘。

为解决烧结设备依赖进口的问题，我司通过多年积攒的高温气氛烧结设备制造经验，结合国外设备的优点，研发制造出“BF220-17NH高温气氛钟罩炉”设备，专门用于静电卡盘的高温共烧工艺，有效尺寸达Φ750×H500。