真空炉

• VHP-H 真空热压炉（卧式）
• VHP-V 真空热压炉（立式）
• VHP-S 小型真空热压炉
• VHP-D 氮化硅陶瓷真空热压炉
• VHP-D 二硼化钛真空热压炉
• VHP 实验室用真空热压炉
• VSF-H 卧式真空烧结炉
• VSF-H 卧式真空钎焊炉
• VSF-H 一体式真空钎焊炉
• VDSF 真空脱脂烧结炉
• VSF-S 小型真空烧结炉
• VSF-V 立式真空烧结炉

粉体焙烧炉

• VSF-V 石英槽沉炉
• VSF-V 石英砂熔融炉
• VSF-P 真空-高压气氛烧结炉

压制设备

• ECAP 等通道转角挤压设备
• VPI-C/C 卧式真空沥青压力浸渍设备
• VPI-M 真空压力浸渍设备

半导体行业专用仪器

• CVD 真空化学气相沉积设备