扫描电镜

• Pharos-STEM 扫描透射电子显微镜
• 飞纳台式扫描电镜大样品室版 Phenom XL
• 飞纳台式扫描电镜高分辨率版 Phenom Pro
• 飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统

专用设备

• DENS 透射电镜原位样品杆
• 【新品】SEMPREP SMART 离子研磨仪
• 【新品】GIB 精修离子束系统

纳米材料

• VSParticle 纳米粒子发生器
• VSParticle 纳米印刷沉积系统

光学仪器及设备

• 全自动汽车清洁度分析系统
• ParticleX Battery全自动锂电清洁度分析系统

X射线仪器

• NEOSCAN 台式显微CT
• Neoscan N90 高分辨纳米CT

无损检测/无损探伤仪器

• 台式通用型显微CT
• NEOSCAN 紧凑型台式显微CT

半导体行业专用仪器

• 晶圆表面颗粒物快速检测系统（PDS)
• 仪器表面颗粒物分析仪（SAS）

粉体特性测试仪

• 掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统（PDS）

计量设备

• 环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

原子力显微镜

• ​AFM-SEM 同步联用技术（通用版）

其他

• PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统