Phenom Ar-C 手套箱版扫描电镜
+ 在手套箱内进行空气敏感材料的制备和分析
Phenom Argon-Compatible Desktop SEM（以下简称：Phenom Ar-C）是**一款可以放在氩气手套箱中安装并运行的扫描电 镜，可以在手套箱内进行更安全的样品制备、显微观察和能谱分析。无需将样品从一台仪器转移到另一台仪器，实现了直接对空气敏感 样品的研究，节省了时间和资源。
传统方法与 Phenom 手套箱版台式扫描电镜对比
Phenom Ar-C，标配四分割背散射电子检测器（BSD），可获取清晰的图像并 提供成分衬度。可以选配二次电子探测器（SED）， 完全集成的能谱（EDS）系 统进行元素分析。兼容 ProSuite 拓展软件，如 ParticleMetric 颗粒统计分析系 统、PoroMetric 孔径统计分析测量系统、FiberMetric 纤维统计分析测量系统和 3D 粗糙度重建系统，来协助进一步分析样品。
放置于氩气手套箱中的 Phenom Ar-C
2 μm
电池阴极颗粒的 SEM 图像
| 规格参数
成像模式
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光学显微镜 放大倍数：3 – 16x
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电子显微镜
| 放大倍数：160 –200,000x
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照明
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光学
| 明场和暗场模式
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电子光学
| • 长寿命 CeB6 灯丝
• 束斑尺寸连续可调
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加速电压
| 基本模式：5kV, 10kV 和 15kV
高级模式：4.8kV - 15kV 连 续可调，用于成像和元素分析
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样品真空
| 低 - 中 - 高
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分辨率
| 优于 8 nm
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探测器
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标配
| 背散射电子探测器
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选配
| 二次电子探测器 能谱探测器
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图像检测
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光学
| 高分辨率彩色导航相机
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电子光学
| 高灵敏度四分割背散射电子探测 器（具有成分模式和形貌模式）
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图像格式
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JPEG, TIFF, BMP
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图像分辨率选项
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960x600, 1920x1200, 3840x2400, 和 7680x4800 像素
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数据存储
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USB 闪存, 网络, 工作站
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| 手套箱馈通要求
• 网口
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• 电源口
• USB 接口
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| 系统规格参数
尺寸和重量 主机
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316(w) x 587(d) x 625(h) mm, 75 kg
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隔膜泵
| 145(w) x 220(d) x 213(h) mm, 4.5 kg
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电源
| 156(w) x 300(d) x 74(h) mm, 3 kg
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显示器 (24 英寸)
| 531.5 (w) x 250 (d) x 515.4 (h) mm, 6.7 kg
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工作站
| • SSD 存储和 4 个 USB 插槽
• 92.5 (w) x 305.6 (d) x 343.5 (h)mm,
8 kg
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样品尺寸
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• ** 100mm (w) x 100mm (d) x 40mm (h) 样品扫描区域
• 50mm x 50mm
• 100mm x 100mm（可选）
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样品加载时间
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光学
| <5 s
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电子光学
安装要求
| <60 s
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环境条件
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温度
| 15 –25°C (59–77°F)
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H2O / O2 比例要求
| < 0.5 PPM
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电源
| 单相交流 100–240 V， 50/60 Hz, 平均 163 W， ** 348 W
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物理参数
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• 建议桌台规格为 150 x 75 cm, 承重至少 150 kg
• 隔膜泵必须安装在无明显振动处
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可输出用户选定的独立元素 背散射电子图像
元素 / SEM 混合图像
扫描区域 任何尺寸的矩形
面扫描像素数
| 32x20–960x600 像素
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像素停留时间
| 1 –500 ms
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线扫描
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线扫描像素数 16 –512 像素
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线扫描停留时间 10 –500 ms
Docx 格式
对地质样品进行 EDS Mapping 分析
自动化
Phenom Ar-C 可通过 PPI（Phenom 编程接口）进行标准访 问，这是一种通过 Python 脚本来运行 Phenom Ar-C 的方法。 可以协助用户自动化分析颗粒、孔隙、纤维或大尺寸 SEM 图像 的重复性任务。如果需要，可以根据您的具体使用需求提供相应 的技术支持。
CeB6 长寿命灯丝
CeB6（六硼化铈）长寿命灯丝具有以下几个优点。首先，与钨灯 丝相比，提供的高亮度使用户更易于获得具有更多细节的高质量 图像。第二，灯丝的使用寿命很长，无需频繁拆开手套箱进行更 换，加上定期的维护保养，这可以为用户带来长周期的稳定体
验。第三，通过 Phenom 智能软件可尽可能地延长使用寿命， 当 Phenom Ar-C 未使用时，灯丝进入休眠状态。
优中心样品台
在许多的 SEM 应用中，如果样品可以倾斜和旋转，有助于更深 入地了解样品特性。优中心样品台就是考虑到这一点而专门开发 的，该样品台可以轻松安全地从各个角度观察样品。
高度集成 ProSuite 软件
操作界面集成化 自动识别谱峰
迭代反卷积算法 置信度指标可视化
导出功能：CSV, JPG, TIFF, ELID, EMSA
可 4 个方向移动：Z (高度)、R (旋转)、T (倾斜) 和 x' (x-prime)
**样品尺寸
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90° 倾斜放置
| Ø ≤30 mm; 高度 ≤32 mm
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< 45° 倾斜放置
| Ø ≤70 mm; 高度 ≤32 mm
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倾斜角度
|
-15° 和 +90°之间
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旋转角度
|
360° 连续
|
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