立式管式电炉组成的CVD系统设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产，CVD系统除了主要应用

在碳纳米材料制备行业外，现在正在使用在许多行业，包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域。

立式管式电炉的炉门开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警。漏电保护功能，当炉体漏电时

自动断电。以上功能确保了使用的安全性， CVD一操作便捷性;

1、气路连接方式采用了快速连接法兰结构

2、使取放物料过程管化，只要一支卡筛使可完成气路连接，方便提作。

3取消了复杂的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能

二、结构实用性;

11200℃立式管式电炉系列:加热炉膛有左右两部分组成，其中右部炉膛可整体向右翻转110°，方便取放

观察实验物料，炉膛材料采用优质的多品莫来纤维真空吸附制成，节能50%，温场均匀。电热元件采取高电阳优质合金丝0Cr27Al7Mo2

2密封法兰采用双环密封技术，有效的提高了炉管两端的气密性，气路具有进出气微量可调功能

3、两端气路支架，支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力，杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏

4、先进的空气隔热技术，结合热可应技术，当炉体表面温升到达50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温

三、使用安全性:

1、炉膛开启自动断电功能，使炉门打开后自动断电。

2、超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动断电及报警

3、漏电保护功能，当炉体漏电时自动断电，以上功能确保了使用的安全性。