型号： 1200℃集成型自动小型PECVD系统

型号： 1200度小型PECVD系统

型号： 1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统

型号： 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统

型号： 1200℃双温区CVD系统

型号： 1200℃预加热滑动双温区/多温区PECVD系统

型号： 1600℃立式单温区管式电炉

型号： 1400℃立式单温区管式电炉

型号： 1200℃立式双温区管式电炉

型号： 1200℃多工位真空气氛管式电炉