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超高温碳化物沉积炉
报价:面议
品牌: 顶立科技
产地: 湖南
关注度: 2854
型号: 超高温碳化物沉积炉
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

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产品介绍

超高温碳化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小;

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好;

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

适于工艺气氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高温碳化物沉积炉产品规格

参数\型号HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
**温度(℃)2000200020002000200020002000
温度均匀性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻电阻电阻电阻电阻电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。

超高温碳化物沉积炉配置选择

结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C/S分度号

红外仪:单比色/双比色

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组


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湖南顶立科技股份有限公司为您提供顶立科技超高温碳化物沉积炉,超高温碳化物沉积炉产地为湖南,属于辊道炉,除了超高温碳化物沉积炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供真空烧结炉(碳化硅/氮化硅/氮化铝)、卧式化学气相沉积炉(碳化硅)、卧式真空(脱脂)压力烧结炉(陶瓷)。
工商信息
企业名称

湖南顶立科技股份有限公司

企业类型

其他股份有限公司(非上市)

信用代码

91430100788042096T

法人代表

戴煜

注册地址

中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东路1271号

成立日期

2006-05-25

注册资本

3989.2752万人民币

有效期限

2006-05-25 至 无固定期限

经营范围

许可项目:第二类医疗器械生产;第三类医疗器械生产;第三类医疗器械经营(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:新材料技术研发;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;工业设计服务;3D打印服务;3D打印基础材料销售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品销售;合成材料制造(不含危险化学品);高性能纤维及复合材料制造;高性能纤维及复合材料销售;金属材料制造;非金属矿物制品制造;非金属矿及制品销售;金属基复合材料和陶瓷基复合材料销售;锻件及粉末冶金制品制造;锻件及粉末冶金制品销售;金属表面处理及热处理加工;机械电气设备制造;机械设备研发;机械设备销售;机械设备租赁;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);冶金专用设备制造;冶金专用设备销售;环境保护专用设备制造;环境保护专用设备销售;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;智能基础制造装备制造;智能基础制造装备销售;烘炉、熔炉及电炉制造;烘炉、熔炉及电炉销售;增材制造装备制造;增材制造装备销售;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;第二类医疗器械销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。

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