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立式化学气相沉积炉新品
报价:面议
品牌: |
顶立科技 |
产地: |
湖南 |
关注度: |
6370 |
型号: |
VCVD |
核心参数
非金属电热元件:其他
金属电热元件:镍铜丝
烧结气氛:真空
温控精度:±5
最高温度:1500
额定温度:1500
产品介绍
立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。
技术特征
☆ 采用多温区独立控温,温度均匀性好;
☆ 采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
☆ 采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
☆ 对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
产品规格
参数\型号 | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
工作区尺寸D×H(mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1100×2000 | Φ1300×2000 | Φ1500×2000 |
**温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±20 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 |
参数\型号 | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
工作区尺寸D×H(mm) | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×3800 | Φ3300×4400 |
**温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
极限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
配置选择
☆ 炉门:丝杆升降/液压升降/手动升降;旋转移开/平行移开(大尺寸炉门);手动锁紧/自动锁圈锁紧
☆ 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
☆ 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
☆ 加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
☆ 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
☆ 热电偶:K分度号/N分度号/C分度号/S分度号
问商家
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湖南顶立科技股份有限公司为您提供顶立科技立式化学气相沉积炉,立式化学气相沉积炉产地为湖南,属于真空炉,除了立式化学气相沉积炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供真空烧结炉(碳化硅/氮化硅/氮化铝)、卧式化学气相沉积炉(碳化硅)、卧式真空(脱脂)压力烧结炉(陶瓷)。
工商信息
注册地址中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东路1271号
经营范围
许可项目:第二类医疗器械生产;第三类医疗器械生产;第三类医疗器械经营(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:新材料技术研发;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;工业设计服务;3D打印服务;3D打印基础材料销售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品销售;合成材料制造(不含危险化学品);高性能纤维及复合材料制造;高性能纤维及复合材料销售;金属材料制造;非金属矿物制品制造;非金属矿及制品销售;金属基复合材料和陶瓷基复合材料销售;锻件及粉末冶金制品制造;锻件及粉末冶金制品销售;金属表面处理及热处理加工;机械电气设备制造;机械设备研发;机械设备销售;机械设备租赁;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);冶金专用设备制造;冶金专用设备销售;环境保护专用设备制造;环境保护专用设备销售;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;智能基础制造装备制造;智能基础制造装备销售;烘炉、熔炉及电炉制造;烘炉、熔炉及电炉销售;增材制造装备制造;增材制造装备销售;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;第二类医疗器械销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。