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HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置
报价:面议
品牌: HORIBA
产地: 上海
关注度: 77
型号: HORIBA PD-Xpadion
标签

HORIBA测量/计量仪器

HORIBAHORIBA PD-Xpadion

国产测量/计量仪器

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产品介绍

PD-Xpadion 是 HORIBA 光掩膜颗粒检测产品线的**一代产品。基于创新的模块化平台设计,PD Xpadion可以满足光刻和掩膜生产过程中掩膜和薄膜检测的各种需求。通过 Fab 自动化与 HORIBA 的整套核心技术相结合,允许用户扩展 PD Xpadion 系统,不仅包括颗粒检测,还包括通过拉曼分析进行颗粒表征,膜膜厚度和均匀性,以及膜健康监测工具。

产品特色

高机械强健度:平均故障间隔时间高达 1500 个小时;可以保证98%以上的正常运行时间。

高灵活性:可以实现 5 寸到 9 寸的光掩膜扫描;兼容 ASML, NIKON,CANON 等一系列厂商的光罩盒;可以支持不同的光掩膜承载手段。

高性能:可以实现光掩膜三个面的扫面(玻璃面,薄膜面以及图形面);单面的扫面时间仅需要 4 分钟;标配 0.5 um 的精度;良好的误检过滤算法。

高模块化:可以连接 OHT/EFEM 等自动化设备;可以连接颗粒去除系统(见下图);可以增加量测手段来实现多种不同应用的表征。


image.png

核心参数

精度规格:0.5 um/0.35 um/0.1 um

吞吐量:12 min/片 (上下两面扫描)

环境光罩尺寸:5寸-9寸

正常运行时间:98%

技术指标

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产品小贴士

HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置由HORIBA(中国)提供,产地为上海,属于国产测量/计量仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域,HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置凭借其创新性与实用性,在测量/计量仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据HORIBA官方产品资料显示:HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的型号是HORIBA PD-Xpadion,品牌为HORIBA。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
在体皮肤拉曼分析仪 HORIBA 在体皮肤拉曼分析仪 国产 电议
MiPLATO-SiC晶圆缺陷检测系统 HORIBA MiPLATO-SIC 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns10171/productsdetail_396174.html
来源:HORIBA(中国)
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HORIBA(中国)为您提供HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置,HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置产地为上海,属于测量/计量仪器,除了HORIBA PD-Xpadion光掩膜异物检测装置的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供HORIBA 高频红外碳硫分析仪EMIA-Pro、HORIBA纳米颗粒分析仪SZ-100系列、HORIBA粒径分析仪LA-960。
工商信息
企业名称

HORIBA(中国)

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