中国粉体网讯  化学机械抛光技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一。该技术综合了抛光液的化学腐蚀作用和磨粒及抛光垫的机械去除作用，以实现抛光后工件表面的良好质量、无损伤和高面形精度。

在CMP过程中，工件通过夹具被固定，抛光垫表面接触，抛光垫与抛光盘刚性连接并以特定的转速围绕主轴做圆周运动，夹具以及固定在其表面的工件在抛光垫与工件表面之间的摩擦力的作用下进行自转，夹具竖直方向施加一定的抛光压力，在加工过程中抛光液供给装置连续不断且均匀地向加工区域提供按一定比例配置的抛光液，工件表层在化学试剂的影响下生成具有松软特性的氧化腐蚀层，该层材料在磨料与抛光垫的机械磨损下被去除从而实现平坦化。

CMP通过抛光液中化学试剂的化学腐蚀和机械磨削的双重耦合作用，在原子水平上去除表面缺陷，获得全局平坦化表面，因此，抛光液对抛光效果起到至关重要的影响。同时，抛光垫在CMP过程中承担着支撑工件、稳定抛光环境、持续输送与储藏抛光液、传递抛光压力以及带走抛光废料等作用。

当前，光学技术正朝着更高分辨率和更高灵敏度的方向不断发展，半导体技术也向着更小特征尺寸和更高集成度的方向持续迈进。与此同时，高精度高质量的光学元件和先进制程的半导体器件的需求呈井喷式上升。CMP在表面质量、材料去除率和材料去除分布等关键性能方面面临着更加严苛的技术要求。聚氨酯抛光垫具有优异的可设计性和可加工性，可以根据不同的工艺需求定制具有不同宏微观结构和力学性能的抛光垫以满足不同应用场景的要求。

山东胜坤新材料有限公司作为一家科技型企业，集研发、生产、销售及售后服务于一体。公司凭借专业技术、精湛工艺和先进设备，为产品品质奠定了坚实基础，树立了专业可靠的企业形象，赢得了国内外高端客户的广泛好评。

公司通过IS09001、IS014001和OHSAS18000管理体系认证，构建了合理高效的运营管理机制。公司以技术创新为动力，不断提升产品性能和科技含量，协助客户保持创新优势，创造良好经济效益，体现了其在管理方面的规范性和先进性，进一步增强了公司在行业内的竞争力。

胜坤新材料拥有聚氨酯磨抛系列产品及研磨抛光液和抛光辅料三大系列产品。聚氨酯磨抛系列产品以其高硬度和耐磨性，成为精密研磨的理想材料；研磨抛光液具有良好的适配性，能满足不同材料的研磨需求；抛光辅料则能与主产品协同作用，提升研磨抛光交果。

作为CMP工艺中重要的耗材，聚氨酯抛光垫的微观结构、宏观结构和力学特性直接影响微观接触状态、宏观压力分布以及抛光液供应，进而显著影响CMP的表面质量、材料去除率及其分布。胜坤新材料拥有多款聚氨酯磨抛系列产品，部分产品可根据客户要求私人定制。公司对品质的极致追求体现在每一个生产环节，从原材料选择到成品检测，严格把控质量关。同时，公司是供优质的售后服务，及时响应客户需求，解决客户在使用过程中遇到的问题。

公司产品展示：

聚氨酯磨抛头系列

聚氨酯磨抛皮系列

聚氨酯砂光轮磨抛

聚氨酯精抛轮磨抛

参考来源：

许庆，硬质合金刀片CMP抛光垫的劣化与改进研究

中国粉体网、光电e+、胜坤新材料

（中国粉体网编辑整理/山林）

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