纳米材料设备供应商：厦门韫茂科技有限公司入驻粉享通

部分产品介绍

该系统具有动态粉末流化机构、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及现场RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项。是先进能源材料、催化剂材料、新型纳米材料研究与应用的研发工具。

MPCVD

产品优势：

•能够实现全自动、自动化生产；

•创新的设计带来产品良率大幅提升；

•创新的高均匀性、偏压设计能够实现更高的金刚石薄膜质量；

•工业标准安全互锁、报警、EMO。

QBT-J 全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

产品优势：

•热壁感应加热系统，温度场均匀；

•专利的多区进气系统，利于工艺参数调控；

•高温加载/卸载晶圆，升/降温速率快，提高生产效率；

•高生长速率，提高设备产能；

•优异的产品指标，提高器件性能；

•设备占地面积小。

QBT-P 双腔室超高真空磁控溅射系统

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