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等离子刻蚀设备 Etcher
报价:面议
品牌: 海创智能
产地: 山东
关注度: 20
型号: Etcher
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半导体行业专用仪器

Etcher

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

HCDR/HCOX/HCMT/HCPS等系列产品是由海创自主研发的等离子刻蚀设备,是在真空环境中利用等离子技术在进行晶圆高精度刻蚀的设备。不同的系列名称分别对应深硅刻蚀、介质刻蚀、金属刻蚀和多晶硅刻蚀。

刻蚀工艺在半导体晶圆生产中扮演着重要的角色,具有工艺多样化程度高、复杂程度高、工艺循环次数多等特点。海创的等离子刻蚀设备具有刻蚀速率高、均匀性好、深宽比可控性好、稼动率高等特点。海创以模块化产品设计和丰富的产品线布局,满足用户多样化的使用需求。

应用领域

微机电系统(MEMS)

图像传感器(CIS)

硅通孔工艺(TSV)

先进封装(Advanced Packaging)

灵活工艺

深硅刻蚀:**可达深宽比100:1

介质刻蚀:氧化物、氮化物

金属刻蚀:Mo,Si,AlCu,AIN,AlScN...

多晶硅刻蚀

特点/优势

高精度刻蚀,优秀的深宽比

多样化的工艺多赢能力

ICP+CCP方式组合搭配,高效高品质

模块化设计和多样的工艺对应能力

用户友好

基于Windows操作系统用户界面

便利的用户界面设计,快速上手

7X24小时用户服务、安装服务、主动维护

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型号: Coater & Developer

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磁控溅射镀膜设备 PVD(Sputter)

型号: PVD(Sputter)

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晶圆键合/解键合设备

型号: Bonder/De-bonder

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产品小贴士

等离子刻蚀设备 Etcher由海创智能装备(烟台)有限公司提供,产地为山东,属于国产半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域,等离子刻蚀设备 Etcher凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:等离子刻蚀设备 Etcher的型号是Etcher,品牌为海创智能。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
涂胶显影设备 海创智能 Coater & Developer 国产 电议
晶圆键合/解键合设备 海创智能 Bonder/De-bonder 国产 电议
磁控溅射镀膜设备 PVD(Sputter) 海创智能 PVD(Sputter) 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36959/productsdetail_397059.html
来源:海创智能装备(烟台)有限公司
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海创智能装备(烟台)有限公司为您提供海创智能等离子刻蚀设备 Etcher,等离子刻蚀设备 Etcher产地为山东,属于半导体行业专用仪器,除了等离子刻蚀设备 Etcher的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供涂胶显影设备、晶圆键合/解键合设备、磁控溅射镀膜设备 PVD(Sputter)。
工商信息
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海创智能装备(烟台)有限公司

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