半导体行业专用仪器

• ICP电感耦合等离子体刻蚀机
• RIE反应离子刻蚀机
• IBE离子束刻蚀机
• 原子层沉积系统
• 卷绕磁控溅射镀膜系统
• 手套箱集成真空镀膜系统
• 双室多靶位超高真空磁控溅射镀膜机
• 纳米团簇薄膜磁控溅射系统
• 大面积磁控溅射镀膜设备
• 超高真空磁控及离子束溅射镀膜系统

真空炉

• 真空电弧熔炼及吸铸系统
• 高真空单辊旋淬及喷铸系统
• 高真空甩丝机
• 悬浮熔炼设备

粉体焙烧炉

• 单晶炉
• 双模式超声雾化制粉设备

制冷设备

• 布里奇曼定向凝固炉

测量/计量仪器

• 制冷测试台