抛光液

• 碳化硅衬底用抛光液系列（COPOL系列）
• 硅衬底用抛光液系列（SIPOL系列）
• 蓝宝石窗口、衬底用抛光液系列（SAPOL系列）
• 金属用抛光液系列（MEPOL系列）

纳米材料

• 普通硅溶胶
• 高纯硅溶胶
• 超纯硅溶胶
• 改性硅溶胶

磨具

• 聚氨酯抛光垫
• 无纺布抛光垫
• 阻尼布抛光垫

助磨剂

• 研磨液
• 切割油