CMP抛光液的D50合格了，真的就代表分散效果达标了吗？很多研发人员容易忽略尾端大颗粒的问题。D50只能反映颗粒粒径分布的中位水平，D90、D99等指标同样关键。本期视频带你了解如何全面判断CMP抛光液的分散效果，避免“D50合格，实际性能却不达标”的情况。