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200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备
报价:面议
品牌: 天仁微纳
产地: 山东
关注度: 256
型号: 200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备
标签

光学仪器及设备

200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备

国产光学仪器及设备

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产品介绍

主要功能

  • 经过量产验证的200mm高精度、高深宽比结构纳米压印设备;

  • CLIV技术,确保压印结构精度与填充完整性;

  • 设备内自动复制柔性复合工作模具,降低大面积纳米压印模具使用成本;

  • 自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程无需人工干预;

  • 标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2),水冷冷却,特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,**支持各种商用纳米压印材料;

  • 标配设备内部洁净环境与除静电装置;

  • 随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构以及微透镜阵列等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际**的纳米压印水平。

相关参数

兼容基底尺寸2inch、100mm、150mm、200mm
特殊尺寸可定制
支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
上下片方式

单片机械手自动上下

晶圆预对位

光学巡边预对位

纳米压印技术

紫外纳米压印(UV-NIL),CLIV技术,适合高精度、高深宽比纳米结构压印 

压印精度优于10nm*
结构深宽比优于10:1*
残余层控制可小于10nm*
紫外固化光源紫外LED(365nm)面光源,光强>1000mW/cm2,水冷冷却(2000mW/cm2类型光源可选配)
设备内部环境控制标配,外部环境class 100,内部环境优于Class 10*
自动压印支持
自动脱模支持
自动工作模具复制支持
模具基底对位功能自动对位(选配)


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产品小贴士

200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备由青岛天仁微纳科技有限责任公司提供,产地为山东,属于国产光学仪器及设备,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、综合其他等领域,200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备凭借其创新性与实用性,在光学仪器及设备用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备的品牌为天仁微纳。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
100mm&200mm&300mm 紫外压印/热压印结合纳米压印光刻设备 天仁微纳 100mm&200mm&300mm 紫外压印/热压印结合纳米压印光刻设备 国产 电议
300mm步进式纳米压印光刻/拼版设备 天仁微纳 300mm步进式纳米压印光刻/拼版设备 国产 电议
Desktop纳米压印光刻设备 天仁微纳 Desktop纳米压印光刻设备 国产 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns36367/productsdetail_386236.html
来源:青岛天仁微纳科技有限责任公司
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青岛天仁微纳科技有限责任公司为您提供天仁微纳200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备,200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备产地为山东,属于光学仪器及设备,除了200mm 高精度紫外纳米压印光刻设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供100mm&200mm&300mm 紫外压印/热压印结合纳米压印光刻设备、300mm步进式纳米压印光刻/拼版设备、Desktop纳米压印光刻设备。
工商信息
企业名称

青岛天仁微纳科技有限责任公司

企业类型

信用代码

91370214MA3BY9D3XA

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