氧化铈抛光液 MYH-COPST 产品详情
MYH-COPST 是 MYHMICRO（铭衍海）出品的纳米氧化铈水性抛光液，专为光学玻璃、半导体、显示面板、汽车玻璃等硬脆材料超精密平坦化设计，核心优势为高去除速率、高选择比、低损伤、易清洗、稳定性强。
一、产品参数
基础理化参数
· 产品型号：MYH-COPST
· 品牌：MYHMICRO
· CAS 号：1306-38-3（CeO₂）
· 外观：粉红色液体
包装规格：1KG/桶，
· 产地：江苏・常州
· 安全性：非危险品、水性环保、无腐蚀
· 去除速率（MRR）：对 SiO₂/ 石英玻璃＞500 nm/min（标准工艺）
· 表面粗糙度（Ra）：≤0.1–0.5 nm（精抛后，AFM 测量）
· 表面缺陷：零可见划痕、低亚表面损伤
· 清洗性：水性易冲洗、无残留
二、产品特点
1. 高效化学机械协同抛光
采用 CMP 化学机械协同原理，CeO₂与 SiO₂表面形成 Ce-O-Si 桥键软化表层，配合纳米颗粒精准微磨削，实现高切削力 + 低损伤，抛光效率远优于纯机械研磨。
2. 高选择性与高平坦度
对硅基材料（SiO₂、石英、玻璃）去除极快，对 Si、Si₃N₄、金属去除速率极低，选择比＞200:1，适配半导体 STI、ILD 等高选择比场景；抛光后表面无橘皮、无麻点、平面度极佳。
3. 优质颗粒与稳定分散
选用高纯度球形纳米 CeO₂，粒径分布窄、无大颗粒杂质，减少划痕风险；专用分散剂确保长期均匀悬浮、不沉降、不团聚，无需频繁搅拌，工艺稳定性高。
铭衍海（常州）微电子可根据客户需求，提供定制化服务
源头工厂可定制粒径、固含量、pH、粘度，精准匹配不同场景；切削寿命长、耗材成本低，实现进口抛光液国产替代，性价比优势显著。
三、应用领域
1. 光学玻璃与晶体
· 光学元件：镜头、棱镜、滤光片、K9 玻璃、硼硅玻璃、熔融石英
· 晶体材料：YAG、钛蓝宝石、石英晶体、蓝宝石（衬底 / 窗口）
· 光纤 / 连接器：端面抛光、低损耗
2. 半导体与微电子
· 晶圆平坦化：STI 浅槽隔离、ILD 层间介质、3D NAND
· 光掩模 / 光刻板：石英掩模无损伤精抛
· 化合物半导体：SiC、GaN、蓝宝石衬底
3. 显示与触控面板
· LCD/OLED 玻璃基板、TFT 面板
· 手机 / 平板盖板玻璃、触控屏：去划痕、高光泽
4. 汽车与工业玻璃
· 汽车挡风玻璃：去划痕、去油膜、修复
· 建筑 / 幕墙玻璃、仪表玻璃、光学视窗
5. 精密陶瓷与硬脆材料
· 结构陶瓷、透明陶瓷、精密轴承、切割刀片
四、使用建议
1. 稀释：原液使用或去离子水 1:1–1:3 稀释，搅拌均匀。
2. 抛光垫：推荐聚氨酯垫或麂皮垫（精抛）。
3. 工艺参数：压力 0.1–0.3 MPa，转速 800–1500 rpm。
4. 后处理：抛后立即清水冲洗，必要时搭配中性清洗剂。
5. 储存：密封、避光、常温（5–35℃）储存，避免高温与阳光直射。
五、注意事项
· 操作时佩戴手套、防护眼镜，避免直接接触皮肤与眼睛；不慎接触立即用大量清水冲洗 15 分钟以上，必要时就医。
· 禁止与强酸、强碱、易燃易爆物品混合存放，防止化学反应。
· 开封后少量分层，搅拌均匀即可正常使用，不影响性能。
· 保质期 6 个月（密封常温储存），过期按环保标准妥善处理。
· 车间保持良好通风，使用时勿进食、吸烟，避免儿童接触。
· 废弃抛光液勿直接排放，需符合当地环保标准处理。
