碳化硅粉

• SiC单晶生产TaC涂层坩埚
• TaC涂层喷管
• TaC涂层托盘
• Solid Sic盘、环
• SiC芯片外延成套石墨零部件
• Sic涂层C/C导流筒
• Sic涂层C/C导坩埚
• Sic涂层C/C导盖板
• Sic涂层C/C隔热屏
• Sic涂层抗氧化耐烧蚀材料

石墨

• 2-4寸多片石墨盘
• 4寸多片石墨盘
• 6寸多片石墨盘
• Skrits盘
• PECVD舟架
• ICP刻蚀盘