碳化硅舟托

碳化硅舟托应用于光伏电池片扩散、LPCVD等环节，替代传统石英舟托。采用一体成型、承载能力远远强于石英舟托，且寿命是石英的5倍以上，目前舟托的尺寸上限超过2米7。

碳化硅舟

碳化硅舟应用于光伏电池片扩散、LPCVD等环节的wafer承载，替代传统石英舟。承载能力远远强于石英舟，且寿命是石英的5倍以上，产品精度为0.01mm。

碳化硅悬臂桨

碳化硅悬臂桨性能稳定、高温下不易变形，wafer装载量大，使用寿命长；是光伏wafer装载系统的关键部件；目前桨的长度上限为4900mm。