型号： MPCVD薄膜沉积系统

型号： ALD薄膜沉积

型号： 生产型磁控机

型号： Bottom-device实验机

型号： MT(材料验证机)

型号： Top-device研发机

型号： VR 器件开发机

型号： G1 蒸镀机