主要技术指标

ZZB型真空热蒸发与手套箱组合系统的用户群体为科研院所实验室，真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝衔接，操控融为一体，广泛应用于OLED、PLED、OPV研究领域。

主要特点

◆自主研发、专业密封、无泄漏

◆手套箱和镀膜机程序互联，避免手套被吸破的风险

◆真空室和手套箱无缝衔接；做到无水、无氧、无尘，薄膜制备与后期工序顺畅无污染；较传统真空腔室与手套箱环境的机械传递，这种结构更简单，可靠，方便；

◆前门的锁紧机构采用自动锁紧，从而避免了前门关不严还要手动推紧、手动锁紧装置开门时候损坏密封圈等问题，使用设备更方便、快捷、可靠；

◆ 304 真空专用不锈钢材质、镜面抛光、前门采用侧滑结构，节约手套箱箱里面空间，真空极限高，使用维护方便；

◆ FF200/1300 型分子泵作为主抽泵，实现抽真空快，真空极限高达3×10-5Pa ；

◆ 蒸发源采用合理的水冷结构，精密的水路结构设计，使电极温升小，可长时间连续稳定工作；合理的蒸发源布局，保证每个蒸发源到基片的距离完全一样，提高了成膜质量和均匀性；

◆ 基片台采用步进电机控制，磁流体传动，电机和磁流体同轴，不会产生丢转、爬行等情况，停止后自动回正，方便基片的取放，转速范围0-40rpm；

◆ 源-基距≥350mm，膜厚仪监测蒸发速率和终厚，达到良好的薄膜均匀性和重复性；

◆自动化控制系统，所有操作均在操作台完成，可以自动开/关机，减少人员等待时间，对各种异常情况进行报警并执行相应保护措施，对各种数据进度记录并保存；