1 年

高级会员

已认证

多腔磁控溅射光学镀膜机
报价:面议
品牌: 汇成真空
产地: 广东
关注度: 55
型号: 多腔磁控溅射光学镀膜机
展位推荐
更多  
产品介绍

射频离子源清洗及后氧化辅助溅射成膜,适用于车载盖板玻璃和3C产品前盖玻璃沉积AR膜,其中AR膜可为普通SiO2+Nb2O5膜系,也可为硬质SiO2+Si3N4膜系。可选在线AF/AS系统,沉积AR+AF/AS膜,AR+DLC+AF/AS膜,兼容2D/3D基材。同时也适用于3C产品后盖颜色膜(含渐变色膜)、NCVM膜的加工。

规格
型号HCSO-2550V
尺寸Ф2700mm*H2350mm
结构三腔室结构(进料室+工艺室+出料室)
性能
转速10~100RPM(可变)
进出料室抽速大气压至10Pa≤5min
工艺室抽速3.0×10-3Pa≤15min
极限真空度8.0×10-5Pa (成膜室)
溅射靶材Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5,ITO,C ...
主要配置
夹具系统中心旋转公转夹具桶 / 挂板机械结构传动
挂板Φ2550x H1200 ~ H1800mm
挂板尺寸可客制化调整
排气系统低真空泵组 + 高真空泵组 + Polycold
真空控制系统真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
镀膜系统DC或MF磁控溅射源+ 等离子体源 + 在线AF/AS蒸发源
充气系统MFC或APC自动压强控制仪
控制系统PC+PLC
应用
光学薄膜应用UV截止滤光片、AR、硬质AR膜、硬质膜、HR膜、AS/AF等,兼容2D/3D基材
适用波长300nm~780nm
注:可客制化(数据仅供参考)


问商家
相关产品
更多  
高精密电子束蒸发镀膜机

型号: 高精密电子束蒸发镀膜机

面议
高精密多腔磁控溅射光学镀膜机

型号: 高精密多腔磁控溅射光学镀膜机

面议
原子层沉积(ALD)镀膜机

型号: 原子层沉积(ALD)镀膜机

面议
高精密电子束蒸发镀膜机

型号: 高精密电子束蒸发镀膜机

面议
推荐产品 供应产品
广东汇成真空科技股份有限公司为您提供汇成真空多腔磁控溅射光学镀膜机,多腔磁控溅射光学镀膜机产地为广东,属于煤炭行业专用仪器,除了多腔磁控溅射光学镀膜机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供高精密多腔磁控溅射光学镀膜机、原子层沉积(ALD)镀膜机、高精密电子束蒸发镀膜机。
工商信息
企业名称

广东汇成真空科技股份有限公司

企业类型

信用代码

91441900791240616U

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

留言咨询

留言类型

需求简述

联系信息

联系人

单位名称

电子邮箱

手机号

图形验证码

点击提交代表您同意《用户服务协议》《隐私协议》