广东汇成真空科技股份有限公司
  • 汇成真空
    参考报价:电议
    型号:高精密电子束蒸发镀膜机
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    在玻璃/PC/PMMA基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机;将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜;基片伞架采用中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。

          采用坩埚上没有极片的电子束加热方式作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜;采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜;可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。

          使用均匀分布的高离子电流密度的离子源,搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上,利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,工件架可选择钟罩式或行星式。

    AR 膜(基材玻璃透过率>91.5%):
    ■  420-680nm波段,单面平均透过率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
    ■  双面平均透过率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

    AS/AF膜测试标准:
    ■   初始接触角范围为 115±5°;
    ■   钢丝绒耐摩擦测试标准:用 0000#钢丝绒,面积为 10*10mm,行程 40 次/分,负载1Kg,5000 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
    ■   橡皮擦测试标准: 直径 6mm 橡皮擦,行程 25 次/分,负载1Kg, 2500 次往返摩擦后,接触角大于 100°;
    备注:测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃,表面光洁。


    优势:

    •提高沉积速率以实现更高产量
    •在半导体,光电和光子学领域实现高精度工艺
    •坚固耐用且易于维护

    规格
    型号HCEB-1100
    腔体尺寸Φ1100 x H1520
    装载量0.8 m2
    结构立式前开门,SUS304不锈钢
    性能
    转速10~30RPM(可变)
    抽速大气压至1.5×10-3Pa≤30min
    极限真空度8.0×10-5Pa
    膜料TiO2,Ti3O5,H4,ZrO2,ZnS,Al2O3,MgF2,SiO2,Au,Ag,Cu,Al,Ti,In,Sn...
    主要配置
    夹具系统中心上旋转伞架,单体或分体
    加热系统卤素灯 / 铠装加热器,**350℃
    排气系统低真空泵组 + 高真空泵组 + 低温泵 / Polycold
    真空控制系统真空控制器、潘宁及皮拉尼真空计
    镀膜系统电子枪,无氧铜坩锅,阻抗式蒸发源,射频/考夫曼型/霍尔型离子源
    充气系统MFC或APC自动压强控制仪
    膜厚控制仪晶控或光控
    控制系统PC+PLC
    应用
    光学薄膜应用UV/IR截止滤光片、装饰膜、带通滤光片、RGB滤光片、光触媒、HR膜等
    适用波长300nm~1560nm
    注:可客制化(数据仅供参考)