设备特点

... 镀膜室真空室结构 真空室为卧式方形，室体为304不锈钢制造。 极限压力 镀膜室 5×10-4Pa 工作压力 镀膜室 2.5×10-1Pa（可调） 抽真空时间(空载) 大气到8×10-3Pa≤30分钟 抽真空时间(带载) 大气到8×10-3Pa≤60分钟...