真空室尺寸
1200×1500mm
1400×1600mm
1600×1800mm
1800×1950mm
2000×1950mm
制膜种类
半透明膜、金、银、红、蓝、绿、灰、黑、七彩等多种颜色
电源类型
多弧专用电源、高压离子轰击电源、可控硅电源,脉冲偏压电源
真空室结构
立式双开门、立式单开门、卧式单开门、抽气系统
真空系统
机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵(或选配:深冷系统)
极限真空
8×10-4 pa(空载、净室)