真空室尺寸

1000×1200

1100×1200

1200×1400

1600×1800

1600×2200

制膜种类

金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等

电源类型

直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源

靶类型

多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶

真空室结构

立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统

真空系统

机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵

加热系统

常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热

充气系统

质量流量控制仪（1-4路）

极限真空

6×10-4pa（空载、净室）

抽气时间

空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟

保压率

1h≤0.6pa

工件旋转方式

上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分

控制方式

手动＋半自动/触摸屏＋PLC

备注

真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做