TEMD500电子束多功能蒸发镀膜机系统具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点。配备E型电子束蒸发源和2组电阻蒸发源、可选配在线膜厚检测系统，以及选配离子源清洗及辅助沉积装置。具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。